技術參數：

設備結構介紹：

該設備由真空室、真空機組和電氣系統組成

1. 真空室

圓形形腔體，側部抽氣，正面開門。不銹鋼材質，配 DN60 觀察窗（含防污擋板）、預抽接口、充氣接口； 內部有底板、蒸發(fā)源等；

2. 真空系統及進氣

采用 110L 分子泵+4L 旋片式機械泵。采用真空波紋管連接，配有復合式數顯真空測量儀表。

3. 電氣系統

電氣系統包括真空機組控制、蒸發(fā)與烘烤控制、真空測量控制等部分組成。有安全互鎖機構，有效防止誤操作發(fā)生。系統配有 1 套蒸發(fā)電源，數顯。

4. 膜厚測量裝置：采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套（選配）。